扫描电子显微镜（SEM）

扫描电子显微镜(SEM)分析材料表面形貌最常用的工具之一。电子枪发射的电子束，经过几级电磁透镜聚焦后，照射到样品表面，激发样品中的二次电子，二次电子被探测器接收，通过信号处理并调制显示器上一个像素发光，从而得到样品表面形貌信息。图像中亮的区域电子信号较多，而暗的区域电子信号较少。

 

SEM技术性能

信号检测
二次及背散电子

元素检测
B-U (EDS mode)

检测极限
0.1 - 1% （原子百分比）

深度分辨率
0.5 - 3 µm (EDS)

成像/绘图
是

横向分辨率/探头尺寸
15 - 45 Å

 

SEM的理想用途

·         高分辨率成像

·         元素微观分析及颗粒特征化描述

 

SEM应用领域

·         航天航空

·         汽车

·         生物医学与生物技术

·         化合物半导体

·         数据存储

·         国防

·         显示器

·         电子

·         工业产品

·         照明

·         制药

·         光子学

·         聚合物

·         半导体

·         太阳能光伏发电

·         电信

 

SEM分析的优势

·         快速 、高分辨率成像

·         快速识别呈现元素

·         适合的井深

·         支持许多其他工具的多功能平台

 

SEM分析的局限性

·         通常需要真空兼容

·         可能需要蚀刻来作对比

·         SEM可能会损坏样品表面，影响随后的分析

·         尺寸限制可能要求切割样品

·         最终的分辨率与样品的制备有关