SEM/EDS- 扫描电子显微镜/能量色散谱仪

扫描电子显微镜 （SEM）是一种采用电子源入射的高分辨成像仪器，其拍摄的图片与光学显微镜比具有更高的放大倍率，良好的井深等特点。样品不同的材质和不同的表面形貌在电子入射下会产生不同量的电子，从而在图片上呈现不同的灰度。

X射线能谱仪(EDS)是一种能和扫描电子显微镜（SEM）相结合的一种分析能力，EDS能提供直径小至纳米级别的区域的元素分析。电子束轰击试样表面产生代表特征元素的X射线。利用EDS，可以测定单个点的元素组成，也可以得到测试区域内的元素分布图，可定性定量测定样品的元素组成。

技术参数

检测信息：来自样品表面的二次电子，背散电子，X-Ray

元素测定：B-U

检测限：0.1 – 1% （原子百分比）

测试深度：0.5 – 3 μm

主要应用

·         样品表面的结构和形貌

·         样品的元素组成

·         表面颗粒物/污染物/腐蚀的分析

·         镀层厚度和成分分析

相关行业应用

·         航空航天

·         汽车

·         生物医学与生物技术

·         化合物半导体

·         数据存储

·         国防

·         显示器

·         电子

·         工业产品

·         照明

·         制药 

·         光电子

·         聚合物

·         半导体

·         太阳能光伏发电

分析的优势

·         快速分析

·         多功能，廉价，应用广泛

·         部分样品的定量（平坦、抛光后、均质）

分析的局限性

·         对于不平坦、未抛光、不均质样品的半定量化

·         样品必须导电性好， 真空相容性好（对于有机材料不是很理想）

·         对低原子序数元素灵敏度低

·         分析后或表面喷镀后对后续表面分析有影响

·         较低的探测灵敏度