扫描电子显微镜 (SEM)
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扫描电子显微镜(
扫描电子显微镜(
SEM技术性能
信号检测
二次及背散电子
元素检测
B-U (
检测极限
0.1 - 1% (原子百分比)
深度分辨率
0.5 - 3 µm (
成像/绘图
是
横向分辨率/探头尺寸
15 - 45 Å
SEM的理想用途
· 高分辨率成像
· 元素微观分析及颗粒特征化描述
· 航天航空
· 汽车
· 生物医学与生物技术
· 化合物半导体
· 数据存储
· 国防
· 显示器
· 电子
· 工业产品
· 照明
· 制药
· 光子学
· 聚合物
· 半导体
· 太阳能光伏发电
· 电信
SEM分析的优势
· 快速 、高分辨率成像
· 快速识别呈现元素
· 适合的井深
· 支持许多其他工具的多功能平台
SEM分析的局限性
· 通常需要真空兼容
· 可能需要蚀刻来作对比
·
· 尺寸限制可能要求切割样品
· 最终的分辨率与样品的制备有关